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射频电源
科诺全数字射频电源,输出频率13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz,输出功率500~5000W,具有能耗低、体积小、使用寿命长、性能稳定等优点,主要应用于等离子清洗、等离子刻蚀、PECVD等领域。
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