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射频电源
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产品介绍
主要参数
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  • 技术参数:输出频率13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz,输出功率500~5000W。

  • 应用领域:等离子清洗、等离子刻蚀、PECVD等。

功能特点

  • 能耗低、体积小、使用寿命长。

  • 控制精度高,稳定性高。

  • 面板可显示和调节频率、设定功率、正向功率、反射功率、负载功率。

  • 具有过压、过流、过反射、过温等保护功能。

  • 支持多种通讯协议。


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